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金相显微镜与扫描电镜的区别
发布时间:2021-01-25   点击次数:262次
  金相显微镜扫描电镜的区别是什么呢?
 
  金相显微镜是用入射照明来观察金属试样表面(金相组织)的显微镜,它是将光学显微镜技术、光电转换技术、计算机图像处理技术完美地结合在一起而开发研制成的高科技产品,可以在计算机上很方便地观察金相图像,从而对金相图谱进行分析,评级等以及对图片进行输出、打印。
 
  金相显微镜是专门用于观察金属和矿物等不透明物体金相组织的显微镜。这些不透明物体无法在普通的透射光显微镜中观察,因此金相和普通显微镜的主要差别在于前者以反射光,而后者以透射光照明。在金相显微镜中照明光束从物镜方向射到被观察物体表面,被物面反射后再返回物镜成像。这种反射照明方式也广泛用于集成电路硅片的检测工作。
 
  扫描电镜一种新型的电子光学仪器。它具有制样简单、放大倍数可调范围宽、图像的分辨率高、景深大等特点。数十年来,扫描电镜已广泛地应用在生物学、医学、冶金学等学科的领域中,促进了各有关学科的发展。
 
  扫描电镜(SEM)是介于透射电镜和光学显微镜之间的一种微观性貌观察手段,可直接利用样品表面材料的物质性能进行微观成像。扫描电镜的优点是,①有较高的放大倍数,20-20万倍之间连续可调;②有很大的景深,视野大,成像富有立体感,可直接观察各种试样凹凸不平表面的细微结构;③试样制备简单。目前的扫描电镜都配有X射线能谱仪装置,这样可以同时进行显微组织性貌的观察和微区成分分析,因此它是当今十分有用的科学研究仪器。
 
  金相显微镜和扫描电镜存在很大的区别,主要有以下几方面:
 
  一、光源不同:金相显微镜采用可见光作为光源,扫描电镜采用电子束作为光源成像。
 
  二、原理不同:金相显微镜利用几何光学成像原理进行成像,扫描电镜利用高能量电子束轰击样品面,激发出样品表面的各种物理信号,再利用不同的信号探测器接受物理信号转换成图像信息。
 
  三、分辨率:金相显微镜因为光的干涉与衍射作用,分辨率只能局限于0.2-0.5um之间。扫描电镜因为采用电子束作为光源,其分辨率可达到1-3nm之间,因此金相显微镜的组织观察属于微米级分析,扫描电镜的组织观测属于纳米级分析。
 
  四、景深:一般金相显微镜的景深在2-3um之间,因此对样品的表面光滑程度具有极高的要求,所以制样过程相对比较复杂。扫描电镜的景深则可达几毫米。

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